標準粒(li)(li)子（如 0.301um ）通過 255 粒(li)(li)子產生器(qi)由(you)液狀(zhuang)霧化成氣體，并由(you)其(qi)內置(zhi)泵通過 0.2um 的(de)(de)(de)過濾器(qi)后的(de)(de)(de)干燥(zao)氣體進入取(qu)樣(yang)(yang)(yang)管路，這時，將兩臺相同(tong)塵埃粒(li)(li)子計數器(qi)同(tong)時或先后對取(qu)樣(yang)(yang)(yang)管進行抽樣(yang)(yang)(yang)測試，并比校 0.3um 粒(li)(li)徑的(de)(de)(de)測試值(zhi)(zhi)。如果(guo)其(qi)平均值(zhi)(zhi)在(zai) 20% 以內，認為合格。如果(guo)不同(tong)型號(hao)的(de)(de)(de)粒(li)(li)子計數器(qi)，一定要弄(nong)清楚其(qi)流(liu)速(su)，取(qu)樣(yang)(yang)(yang)時間，取(qu)樣(yang)(yang)(yang)次數等(deng)參(can)數，并且，還(huan)要明白怎樣(yang)(yang)(yang)理解其(qi)測試結果(guo)。

三 . 校正的基本步驟：

現假設對(dui)一臺常見的 Metone227B 作校正

•  首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何(he)差別，其測試原(yuan)理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立(li)方(fang)英(ying)尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

•  首先，請將潔凈臺開機，工作半小(xiao)時(shi)，其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓(rang)其預熱半小(xiao)時(shi)。

•  準備好 255 的取樣器(qi)管(guan)，并搭(da)接好其所(suo)有氣體管(guan)路。

•  將配(pei)好的標準液(ye)（如 0.301um ）放入脫(tuo)原子瓶(ping)中，注意(yi)勿讓液(ye)體超過噴嘴。

•  設置 Metone3413 和(he) Metone227B 的(de)基(ji)本參數

•  取樣時間都設置為 00 ： 01 ： 00

•  取樣(yang)次數都(dou)設(she)置 03

•  取(qu)樣模式(shi)都設置為 Auto

•  間隔時間都設置為 00 ： 00 ： 05

•  讀(du)數(shu)模式都(dou)設(she)置為 Cumulative

注：以上設置相(xiang)同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。

•  此時，打開 255 電源，調(diao)節脫(tuo)原子氣(qi)體(ti)(ti)(ti)閥和(he)干燥(zao)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)閥，在調(diao)至噴嘴閥處呈氣(qi)霧出現(xian)，干燥(zao)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)流速計約 60SCFH 時后(hou)，保持其工(gong)作狀態(tai)。

•  此時，讓 Metone227B 和(he) Metone3413 同(tong)時工(gong)作，看(kan)其(qi)三次的平均結果，若在 20% 以內，視為合格。

•  拆(chai)下脫原子瓶，重(zhong)新滴入(ru)其(qi)它(ta)標準粒子，重(zhong)復該測試。

•  以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。

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